-
Something wrong with this record ?
Metody zápisu nanostruktur rastrovací sondou
[Scanning probe nanolithography methods]
Michal Urbánek, Stanislav Krátký, Milan Matějka, Vladimír Kolařík, Miroslav Horáček
Language Czech Country Czech Republic
Document type Research Support, Non-U.S. Gov't
- MeSH
- Biomedical Engineering MeSH
- Microscopy, Atomic Force * methods instrumentation utilization MeSH
- Microscopy, Scanning Probe * methods instrumentation utilization MeSH
- Nanostructures MeSH
- Nanotechnology * MeSH
- Publication type
- Research Support, Non-U.S. Gov't MeSH
AFM (atomic force microscopy) nanolithography can be used for preparation of nanostructures in various fields such as nanodevices, nanoantenas and biosensors. Several methods of AFM nanolithography (local anodic oxidation, electron resist exposure, dip pen nanolithography and nanoscratching), their advantages and essential properties are described.
Scanning probe nanolithography methods
Literatura
- 000
- 00000naa a2200000 a 4500
- 001
- bmc15008806
- 003
- CZ-PrNML
- 005
- 20150511104357.0
- 007
- ta
- 008
- 150507s2014 xr a f 000 0|cze||
- 009
- AR
- 040 __
- $a ABA008 $d ABA008 $e AACR2 $b cze
- 041 0_
- $a cze $b eng
- 044 __
- $a xr
- 100 1_
- $a Urbánek, Michal $7 _AN081787 $u Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Královopolská 147, Brno 612 64
- 245 10
- $a Metody zápisu nanostruktur rastrovací sondou / $c Michal Urbánek, Stanislav Krátký, Milan Matějka, Vladimír Kolařík, Miroslav Horáček
- 246 31
- $a Scanning probe nanolithography methods
- 504 __
- $a Literatura
- 520 9_
- $a AFM (atomic force microscopy) nanolithography can be used for preparation of nanostructures in various fields such as nanodevices, nanoantenas and biosensors. Several methods of AFM nanolithography (local anodic oxidation, electron resist exposure, dip pen nanolithography and nanoscratching), their advantages and essential properties are described.
- 650 12
- $a mikroskopie atomárních sil $x metody $x přístrojové vybavení $x využití $7 D018625
- 650 12
- $a mikroskopie skenující sondou $x metody $x přístrojové vybavení $x využití $7 D020527
- 650 12
- $a nanotechnologie $7 D036103
- 650 _2
- $a nanostruktury $7 D049329
- 650 _2
- $a biomedicínské inženýrství $7 D001698
- 655 _2
- $a práce podpořená grantem $7 D013485
- 700 1_
- $a Krátký, Stanislav $7 _AN081788 $u Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Královopolská 147, Brno 612 64
- 700 1_
- $a Matějka, Milan $7 _AN081789 $u Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Královopolská 147, Brno 612 64
- 700 1_
- $a Kolařík, Vladimír, $d 1945- $7 xx0169856 $u Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Královopolská 147, Brno 612 64
- 700 1_
- $a Horáček, Miroslav $7 _AN081790 $u Ústav přístrojové techniky, AV ČR, v.v.i., Královopolská 147, Brno 612 64
- 773 0_
- $t Chemické listy $x 0009-2770 $g Roč. 108, č. 10 (2014), s. 937-941 $w MED00011010
- 856 41
- $u http://www.chemicke-listy.cz/ojs3/index.php/chemicke-listy/article/view/447/447 $y domovská stránka časopisu - plný text volně přístupný
- 910 __
- $a ABA008 $b B 1918 $c 395 $y 4 $z 0
- 990 __
- $a 20150507080354 $b ABA008
- 991 __
- $a 20150511104706 $b ABA008
- 999 __
- $a ok $b bmc $g 1066079 $s 891607
- BAS __
- $a 3
- BMC __
- $a 2014 $b 108 $c 10 $d 937-941 $i 0009-2770 $m Chemické listy $n Chem. Listy $x MED00011010
- LZP __
- $c NLK137 $d 20150511 $a NLK 2015-12/vt